“恰是有了无数个一丝不苟的攻关，才促进了我国首台IC光刻机的问世。”5月10日，华中科技年夜学（以下简称华科年夜）“科学家精力进校园”系列勾当新闻发布会上，中国工程院院士、华科年夜传授陈学东在回覆《中国科学报》发问时暗示，科学研究常常没有捷径可走，重年夜科学手艺冲破靠的是对“敢为人先、勇攀岑岭、一丝不苟、不断改进”等科学家精力的持久对峙。

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陈学东院士回覆《中国科学报》发问。华科年夜供图

据悉，光刻机是芯片制造流程中光刻工艺的焦点装备，可谓半导体系体例造业皇冠上的明珠，我国在该范畴持久掉队，一度被“卡脖子”。因为没法冲破手艺瓶颈，我国减振开博体育器持久依靠进口。为了打破这一手艺垄断，2002年起，持久从事机械动力学设计与节制研究的陈学东，最先研发国产减振器。他22年如一日，终究霸占光刻机减振器研发瓶颈，为我国重年夜设备制造的自立可控作出主要进献。

“可否连系光刻机减振器研发履历，谈一谈科学研究要想获得重年夜冲破，需要秉承哪些精力？”面临《中国科学报》的现场发问，陈学东坦言，不论是前沿科学研究仍是现实工程攻关，都需要始终对峙寻求真谛、严谨治学的求实精力。

“记得2007年我们在做90纳米IC光刻机样机调试时，偶然会碰着工作台呈现一种异常的小幅振动现象，以往经验和所谓的‘常识’没法注释。假如不弄清晰缘由，不解决这类偶发瑕疵，便可能对暴光成像的良率造成影响。”他介绍，为解决这一困难，他率领团队和企业手艺人员连合协作、集智攻关，经由过程三四年的尽力，终究发现了工作台中常人意想不到的另外一支“隐形的手”，而且弄清晰了怎样设计工作台来减小它的影响。恰是有了无数个像如许“一丝不苟的攻关”，才促进了我国首台IC光刻机的问世。

发布会现场。李思辉摄

“我也想连系这段攻关履历，谈谈勇攀岑岭、敢为人先的立异精力的主要性。”陈学东介绍，德国一家公司凭仗用永磁体做准零刚度这项立异，做成了减振器行业标杆，成为阿斯麦光刻机的减振配套商。我们阐发发现他们的手艺其实仍是出缺陷，在是我们试探出一种新思绪，颠末十多年的不懈尽力，研制出新型准零刚度减振器，综合机能实现超出，终究解决了高端自动减振器国产自立可控困难。其实不但是光刻机，像此刻正在成长的无人设备、人形机械人等手艺研究，都需要我们发扬勇攀岑岭、敢为人先的立异精力。

他总结说，敢为人先、勇攀岑岭，一丝不苟、不断改进，沉下心来、执着对峙等等，是科学研究获得重年夜冲破的要害。新时期的年青人有生气、有活力、有宽阔的视野，继续和发扬这些科学家精力，相信，将来必然可以或许获得更年夜的冲破。

据悉，华科年夜“科学家精力进校园”系列勾当的首场勾当将在5月12日进行，陈学东院士将走进国度级示范性高中——江苏省姜堰中学进行宣讲。

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